簡介 ：

蔡司 Axio Imager Vario

用于檢測大尺寸樣品的正置式顯微鏡

檢查大尺寸樣品–滿足自動化潔凈室的要求

從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的**樣品高度為254 mm，**橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設計確保了良好的穩定性?？蓾M足在潔凈室內檢測晶圓的應用要求。利用驅動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至理想的聚焦位置。

潔凈室

半導體生產和晶圓檢測需要在潔凈室內進行。根據DIN EN ISO 14644-1標準，以每立方米的顆粒數量和大小將潔凈室劃分成不同等級。Axio Imager Vario已通過此標準認證，并滿足5級潔凈室的應用要求。ISO 5級潔凈室相當于原先標準FED STD 209E（1992）的100級。潔凈室套件中包含一個7x物鏡轉盤、一個顆粒保護罩和防噴嚏保護罩。

優勢

ü  具有兩種手動機柱和一種電動機柱（配有符合工業標準的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的**橫向樣品空間300 mm x 300 mm和**樣品高度254 mm的優勢。

ü  Axio Imager Vario能通過物鏡轉盤的上下移動來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復性。

ü  借助硬件自動對焦功能，可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。

ü  將Axio Imager Vario與LSM 900結合使用，能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品

ü  Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認證，并滿足5級潔凈室的應用要求。

硬件自動對焦

具有硬件自動對焦功能的Axio Imager Vario能夠在高達12000 μm的焦點捕獲范圍內精準快速地聚焦反射樣品。聚焦系統能夠保證聚焦精度達到所使用物鏡景深的0.3倍。自動聚集功能適合于使用反射光、透射光、明場、暗場、偏光、微分干涉相差及斜照明觀察方式的應用。